DLTS MEASUREMENTS OF SEMI-INSULATING GAAS ION-IMPLANTED WITH SIFX+ AFTER CAPLESS ANNEALING

被引:0
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作者
RANSOM, CM [1 ]
CHAPPELL, TI [1 ]
RUPPRECHT, HS [1 ]
WOODALL, JM [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
来源
BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETY | 1981年 / 26卷 / 03期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页数:1
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