TEMPERATURE-DEPENDENCE OF SURFACE-MORPHOLOGY OF CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION GROWN GE ON GE SUBSTRATES

被引:1
作者
AHARONI, H
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.584932
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1141 / 1147
页数:7
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共 3 条
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