ION-BEAM OXIDATION

被引:30
作者
HARPER, JME
HEIBLUM, M
SPEIDELL, JL
CUOMO, JJ
机构
基金
美国国家科学基金会;
关键词
D O I
10.1063/1.329220
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4118 / 4121
页数:4
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