EVAPORATED FILM PROFILES OVER STEPS IN SUBSTRATES

被引：74
作者：
BLECH, IA
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1970年 / 6卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(70)90068-4
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：113 / &
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共 4 条
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