MORPHOLOGY OF THIN SUPERCONDUCTING NB FILMS

被引:8
作者
ALESSANDRINI, EI
LAIBOWITZ, RB
VIGGIANO, JM
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.570750
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:318 / 323
页数:6
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