THE MECHANISMS FOR SILICON OXIDATION IN STEAM AND OXYGEN

被引：113

作者：

LIGENZA, JR

SPITZER, WG

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3697(60)90219-5

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

页码：131 / 136

页数：6

共 13 条

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