THE EQUILIBRATION BEHAVIOR OF DEFECTS IN BORON DOPED HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON-CARBON FILMS DURING THE ANNEALING PROCESS

被引：0

作者：

SONG, ZZ

ZHANG, FQ

ZHAO, LM

GUO, YP

CHEN, GH

机构：

[1] Department of Physics, Lanzhou University

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1991年 / 126卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2211260229

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：K99 / K103

页数：5