CHEMICAL VIEWS ON FORMATION OF TIN OXIDE-FILMS BY REACTIVE SPUTTERING

被引：16

作者：

HECQ, M

PORTIER, E

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(72)90124-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：341 / &

共 16 条

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