ELECTRON BOMBARDMENT ION SOURCE FOR LOW ENERGY BEAMS

被引：19
作者：
DWORETSKY, S
NOVICK, R
SMITH, WW
TOLK, N
机构：
来源：
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1968年 / 39卷 / 11期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1683212
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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