FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS USING ELECTRON IMAGE PROJECTION SYSTEM (ELIPS)

被引：15
作者：
OKEEFFE, TW
机构：
来源：
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1970年 / ED17卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1109/T-ED.1970.17010
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：465 / &
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共 2 条
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