PRECISION MOLECULAR-FLOW MEASUREMENT AND CONTROL FOR SINGLE AND MULTIGAS SYSTEMS

被引：8
作者：
KIESLING, RA
SULLIVAN, JJ
SANTELER, DJ
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.569511
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：771 / 774
页数：4
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共 4 条
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