COMPOSITION AND STRUCTURE OF CO-SPUTTERED TA-TI ALLOY THIN-FILMS

被引：1
作者：
OOHASHI, T
YAMANAKA, S
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1972年 / 11卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.11.108
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：108 / &
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[1]  
CHOPRA KL, 1969, THIN FILM PHENOMENA, P196
[2]  
READ MN, 1965, J APPL PHYS LETT, V7, P51
[3]  
SANDELL EB, 1959, COLORIMETRIC DETERMI, P868
[4]  
SANDELL EB, 1959, COLORIMETRIC DETERMI, P682
1