LIGHT-INDUCED DEGRADATION OF HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS DEPOSITED AT DIFFERENT RF POWERS

被引:3
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作者
ACHARYA, PK [1 ]
MALHOTRA, LK [1 ]
CHOPRA, KL [1 ]
机构
[1] INDIAN INST TECHNOL,CTR MAT SCI & TECHNOL,NEW DELHI 110016,INDIA
关键词
D O I
10.1063/1.342060
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:6452 / 6455
页数:4
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