X-RAY CONVERSION EFFICIENCY IN LASER-PRODUCED PLASMAS - APPLICATION TO X-RAY-LITHOGRAPHY

被引：0

作者：

TOUBHANS, I

FABBRO, R

GAUTHIER, JC

CHAKER, M

PEPIN, H

机构：

来源：

X-RAY INSTRUMENTATION IN MEDICINE AND BIOLOGY, PLASMA PHYSICS, ASTROPHYSICS, AND SYNCHROTRON RADIATION | 1989年 / 1140卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：8