INTEGRATED CIRCUIT VISUAL INSPECTION USING SPATIAL FILTERING

被引：0

作者：

BEADLES, RL

SIMONS, M

BREEN, WM

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE | 1970年 / NS17卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1109/TNS.1970.4325787

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：178 / &

相关论文

共 6 条

[1]

BORN M, 1959, PRINCIPLES OPTICS, P417

[2]

GOODMAN JW, 1968, INTRODUCTION FOURIER

[3]

LENDARIS GG, P IEEE, V58, P198

[4]

SHULMAN AR, 1970, OPTICAL DATA PROCESS

[5] INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUIT PHOTOMASKS WITH INTENSITY SPATIAL FILTERS [J].

WATKINS, LS .

PROCEEDINGS OF THE IEEE, 1969, 57 (09) :1634-&

[6]

1969, TEST METHODS INCREAS