REDUCTION OF ERRORS OF MICROPHOTOGRAPHIC REPRODUCTIONS BY OPTIMAL CORRECTIONS OF ORIGINAL MASKS

被引:93
作者
SALEH, BEA
SAYEGH, SI
机构
关键词
D O I
10.1117/12.7972810
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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页码:781 / 784
页数:4
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共 3 条
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