WIDE-APERTURE ION-SOURCE FOR IMPLANTATION OF METALS

被引：0
作者：
AKSENOV, AI
BUGAEV, SP
DATS, AV
PANKOVETS, NG
TOLOPA, AM
机构：
来源：
INSTRUMENTS AND EXPERIMENTAL TECHNIQUES | 1988年 / 31卷 / 04期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
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页码：980 / 982
页数：3
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共 5 条
  • [1] AKSENOV AI, 1987, PRIB TEKH EKSP, P139
  • [2] AKSENOV AI, 1986, 6TH P ALL UN S HIGH, V1, P123
  • [3] HIRVONEN GK, 1985, METALLURGIYA
  • [4] KAUFMAN KR, 1983, AERODINAM TEKH, V1, P46
  • [5] 1986, 6TH P ALL UN S HIGH
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