SECONDARY ELECTRONS IN ION GAUGES

被引：4

作者：

GROSSE, G ^{[1
]}

HARTEN, U ^{[1
]}

JITSCHIN, W ^{[1
]}

GENTSCH, H ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ESSEN GESAMTHSCH,INST PHYS CHEM,D-4300 ESSEN 1,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574846

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：3242 / 3243

页数：2

共 7 条

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