ULTRASONIC MANOMETERS FOR LOW AND MEDIUM VACUA UNDER DEVELOPMENT AT NATIONAL-BUREAU-OF-STANDARDS

被引:59
作者
HEYDEMANN, PLM [1 ]
TILFORD, CR [1 ]
HYLAND, RW [1 ]
机构
[1] NBS,WASHINGTON,DC 20234
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.569158
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:597 / 605
页数:9
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