A RESOLUTION TEST OF SEM AND STRUCTURAL-ANALYSES FROM SEM IMAGES BY MEANS OF DIGITAL PROCESSING METHODS

被引:0
作者
OHO, E [1 ]
KANAYA, K [1 ]
机构
[1] KOGAKUIN UNIV,DEPT ELECT ENGN,SHINJUKU KU,TOKYO 160,JAPAN
来源
JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1982年 / 31卷 / 03期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TH742 [显微镜];
学科分类号
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页码:328 / 328
页数:1
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