EFFECT OF ION-BOMBARDMENT ON THE STRUCTURE OF SPUTTERED TI-N FILMS

被引：9
作者：
MUSIL, J [1 ]
POULEK, V [1 ]
KADLEC, S [1 ]
VYSKOCIL, J [1 ]
VALVODA, V [1 ]
CERNY, R [1 ]
KUZEL, R [1 ]
机构：
[1] CHARLES UNIV, FAC MATH & PHYS, DEPT SEMICOND PHYS, CS-12116 PRAGUE 2, CZECHOSLOVAKIA
来源：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1989年 / 37-8卷
关键词：
D O I：
10.1016/0168-583X(89)90323-6
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：897 / 901
页数：5
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