AN APPROXIMATE ANALYSIS OF STRESSES IN MULTILAYERED ELASTIC THIN-FILMS

被引:175
作者
SUHIR, E
机构
[1] AT and T Bell Laboratories, Murray Hill, NJ, 07974, United States
来源
JOURNAL OF APPLIED MECHANICS-TRANSACTIONS OF THE ASME | 1988年 / 55卷 / 01期
关键词
D O I
10.1115/1.3173620
中图分类号
O3 [力学];
学科分类号
08 ; 0801 ;
摘要
11
引用
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页数:6
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