OPTICAL-THICKNESS MONITORING SENSITIVITY IMPROVEMENT USING GRAPHICAL METHODS

被引：12

作者：

WILLEY, RR

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1987年 / 26卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.26.000729

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页码：729 / 737

页数：9

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共 12 条

[11] MONITORING OF PERIODIC MULTILAYERS BY THE LEVEL METHOD [J].

ZHAO, FT .

APPLIED OPTICS, 1985, 24 (20) :3339-3342

[12]

Zoller A., 1986, Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, V652, P21, DOI 10.1117/12.938353