PREPARATION OF SILICON-CARBIDE FROM METHYLCHLOROSILANES IN A PLASMA TORCH

被引：15

作者：

SALINGER, RM

机构：

来源：

INDUSTRIAL & ENGINEERING CHEMISTRY PRODUCT RESEARCH AND DEVELOPMENT | 1972年 / 11卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1021/i360042a022

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页码：230 / &

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共 4 条

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