ENERGY DISTRIBUTION OF POSITIVE IONS EXTRACTED FROM AN RF PLASMA

被引：13

作者：

OKAMOTO, Y

TAMAGAWA, H

机构：

[1] Department of Nuclear Engineering, Nagoya University, Nagoya

来源：

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN | 1969年 / 27卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1143/JPSJ.27.270

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

收藏

页码：270 / &

相关论文

共 3 条

[1]

COOK KJ, 1962, REV SCI INSTRUM, V33, P649

[2] EXCESS ENERGY MEASUREMENT OF ION BEAM FROM HIGH FREQUENCY ION SOURCE [J].

TSUCHIMOTO, T .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1966, 5 (04) :327-+

[3] EXTRACTION OF POSITIVE IONS FROM ELECTRODELESS DISCHARGE [J].

WILLIAMS, JF .

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1966, 37 (09) :1205-&