MOLTEN METAL ETCHES FOR THE ORIENTATION OF SEMICONDUCTORS BY OPTICAL TECHNIQUES

被引：16

作者：

FAUST, JW

SAGAR, A

JOHN, HF

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2425562

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：824 / 828

页数：5

共 14 条

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