PULSED-LASER DEPOSITION (PLD) OF III-V SEMICONDUCTORS - EPITAXIAL FILM GROWTH AND GAS-PHASE SPECIES ANALYSIS BY IN-SITU TIME-OF-FLIGHT MASS-SPECTROMETRY

被引:0
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作者
LACKOWSKI, WM [1 ]
VANDUYNE, RP [1 ]
机构
[1] NORTHWESTERN UNIV,DEPT CHEM,EVANSTON,IL 60208
来源
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 1995年 / 210卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:255 / PHYS
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