AN ANALYTICAL MODEL OF SEM AND STEM CHARGE COLLECTION IMAGES OF DISLOCATIONS IN THIN SEMICONDUCTOR LAYERS .1. MINORITY-CARRIER GENERATION, DIFFUSION, AND COLLECTION

被引:133
作者
DONOLATO, C
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1981年 / 65卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210650231
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:649 / 658
页数:10
相关论文
共 35 条