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INVESTIGATION OF GROWTH HILLOCKS IN AL THIN-FILMS BY ELECTRON-MICROSCOPY
被引：0
作者：
REICHA, FM
[1
]
BARNA, PB
[1
]
GESZTIHERKNER, O
[1
]
机构：
[1] HUNGARIAN ACAD SCI,TECH PHYS RES INST,H-1361 BUDAPEST 5,HUNGARY
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TH742 [显微镜];
学科分类号：
摘要：
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页码：112 / 113
页数：2
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