GRAPHITE FORMATION IN DIAMOND FILM DEPOSITION

被引：132

作者：

ZHU, W

RANDALL, CA

BADZIAN, AR

MESSIER, R

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575935

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：2315 / 2324

页数：10

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共 23 条

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