NICKEL AND COBALT SILICIDES ON SILICON - THIN-FILM REACTION AND INTERFACE STRUCTURE

被引：16

作者：

VANDERVEEN, JF

FISCHER, AEMJ

VRIJMOETH, J

机构：

来源：

APPLIED SURFACE SCIENCE | 1989年 / 38卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0169-4332(89)90514-X

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

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页码：13 / 26

页数：14

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