STRUCTURE OF CHEMICAL VAPOR-DEPOSITED SILICON-CARBIDE

被引：144

作者：

CHIN, J ^{[1
]}

GANTZEL, PK ^{[1
]}

HUDSON, RG ^{[1
]}

机构：

[1] GEN ATOM CO,SAN DIEGO,CA 92138

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90103-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：57 / 72

页数：16

共 9 条

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