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HIGH-DENSITY INTERCONNECTS USING LASER LITHOGRAPHY
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作者
:
LEVINSON, LM
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LEVINSON, LM
EICHELBERGER, CW
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EICHELBERGER, CW
WOJNAROWSKI, RJ
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WOJNAROWSKI, RJ
CARLSON, RO
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CARLSON, RO
机构
:
来源
:
PROCEEDING OF THE TECHNICAL PROGRAM OF NEPCON WEST 89, VOLS 1 AND 2
|
1989年
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:1319 / 1327
页数:9
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