HIGH-DENSITY INTERCONNECTS USING LASER LITHOGRAPHY

被引:0
作者
LEVINSON, LM
EICHELBERGER, CW
WOJNAROWSKI, RJ
CARLSON, RO
机构
来源
PROCEEDING OF THE TECHNICAL PROGRAM OF NEPCON WEST 89, VOLS 1 AND 2 | 1989年
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1319 / 1327
页数:9
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