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ELLIPSOMETRY OF THIN SILICON DIOXIDE FILMS ON ROUGH POLYCRYSTALLINE SILICON SURFACES
被引：0
作者：
BURLEIGH, TD
[1
]
WAGNER, S
[1
]
CISZEK, TF
[1
]
机构：
[1] SOLAR ENERGY RES INST,GOLDEN,CO 80401
来源：
SOLAR CELLS
|
1980年
/
1卷
/
03期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TE [石油、天然气工业];
TK [能源与动力工程];
学科分类号：
0807 ;
0820 ;
摘要：
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页码：272 / 272
页数：1
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