HIGH-RATE DEPOSITION OF THICK PIEZOELECTRIC ZNO FILMS USING A NEW MAGNETRON SPUTTERING TECHNIQUE

被引：29
作者：
HATA, T
NODA, E
MORIMOTO, O
HADA, T
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1980年 / 37卷 / 07期
关键词：
D O I：
10.1063/1.92002
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：633 / 635
页数：3
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共 6 条
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