SELECTIVE EPITAXIAL DEPOSITION OF SILICON

被引：105

作者：

JOYCE, BD

BALDREY, JA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1038/195485a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

页码：485 / &

共 4 条

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