FABRICATION TECHNOLOGIES FOR IMPROVED INTEGRATED-OPTICS DEVICES

被引：0

作者：

SCHMIDT, RV

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1981年 / 83卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90684-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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