ALUMINUM FILMS DEPOSITED BY RF SPUTTERING

被引：253

作者：

DHEURLE, FM

机构：

来源：

METALLURGICAL TRANSACTIONS | 1970年 / 1卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02811600

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

页码：725 / &

共 21 条

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