VACUUM EVAPORATED FILMS OF ALUMINUM FLUORIDE

被引：84
作者：
HEITMANN, W
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1970年 / 5卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(70)90052-0
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：61 / &
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