CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF TITANIUM DISULFIDE

被引：11
作者：
MOTOJIMA, S
ITOH, K
TAKAHASHI, Y
SUGIYAMA, K
机构：
来源：
BULLETIN OF THE CHEMICAL SOCIETY OF JAPAN | 1978年 / 51卷 / 11期
关键词：
D O I：
10.1246/bcsj.51.3240
中图分类号：
O6 [化学];
学科分类号：
0703 ;
摘要：
引用
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页码：3240 / 3244
页数：5
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