PRESSURE GENERATION IN THE ULTRAHIGH-VACUUM REGION

被引：0

作者：

GROSSE, G ^{[1
]}

MESSER, G ^{[1
]}

机构：

[1] INST BERLIN,PHYS TECH BUNDESANSTALT,D 1000 BERLIN 10,FED REP GER

来源：

VACUUM | 1988年 / 38卷 / 8-10期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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共 1 条

[1] ACCURATE, WIDE RANGE ULTRAHIGH-VACUUM CALIBRATION SYSTEM [J].

FOWLER, P ;

BROCK, FJ .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1970, 7 (05) :507-&