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RAPID THERMAL-PROCESSING FOR VLSI APPLICATION
被引：0
作者：
WIESER, E
GERISCH, D
KAHLERT, V
机构：
来源：
EPM 87: ENERGY PULSE AND PARTICLE BEAM MODIFICATION OF MATERIALS
|
1988年
/
8卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：80 / 86
页数：7
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