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METAL ADATOMS ON OXIDIZED SILICON SURFACES
被引:7
作者
:
MCGRATH, R
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MCGRATH, R
MCGILP, JF
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MCGILP, JF
MCGOVERN, IT
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MCGOVERN, IT
MORGAN, SJ
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MORGAN, SJ
HERRENDENHARKER, WG
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HERRENDENHARKER, WG
WILLIAMS, RH
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WILLIAMS, RH
机构
:
来源
:
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
|
1988年
/ 3卷
/ 09期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0268-1242/3/9/018
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:937 / 942
页数:6
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