INFLUENCE OF SOURCE PARAMETERS ON PROPERTIES OF AN ION-BEAM

被引:8
作者
WITTMAACK, K [1 ]
SCHULZ, F [1 ]
机构
[1] GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH, PHYS TECH ABT, 8042 NEUHERBERG, WEST GERMANY
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.1318515
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:918 / 921
页数:4
相关论文
共 16 条