SHORT-WAVELENGTH ANNULAR-FIELD OPTICAL-SYSTEM FOR IMAGING 10TH-MICRON FEATURES

被引：15

作者：

WOOD, OR ^{[1
]}

SILFVAST, WT ^{[1
]}

JEWELL, TE ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584500

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1613 / 1615

页数：3

共 7 条

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