ENERGY DISTRIBUTIONS IN SPUTTERING PROCESSES

被引:122
作者
OECHSNER, H
机构
来源
ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK | 1970年 / 238卷 / 05期
关键词
D O I
10.1007/BF01409427
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:433 / &
相关论文
共 20 条
[1]  
BENNINGH.A, 1965, ANN PHYS-BERLIN, V15, P113
[2]   GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG DER BEI DER KATHODENZERSTAUBUNG VON GOLD AUSGESANDTEN PARTIKEL [J].
BEUSCHER, H ;
KOPITZKI, K .
ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1965, 184 (04) :382-&
[3]   UNIFIED SPUTTERING THEORY [J].
BRANDT, W ;
LAUBERT, R .
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1967, 47 (02) :201-&
[4]  
BREWER L, 1950, METALLURGY MISC MAT
[5]  
FETZ H, 1960, Z ANGEW PHYS, V12, P250
[6]  
FETZ H, 1963, COMPT REND 6, V2, P39
[7]   VELOCITY DISTRIBUTION OF SPUTTERED POTASSIUM [J].
HULPKE, E ;
SCHLIER, C .
ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1967, 207 (03) :294-&
[8]   ON MECHANISM OF SPUTTERING [J].
LEHMANN, C ;
SIGMUND, P .
PHYSICA STATUS SOLIDI, 1966, 16 (02) :507-&
[9]  
Leibfried Gunther, 1965, BESTRAHLUNGSEFFEKTE
[10]   ENERGY DISTRIBUTION IN SPUTTERING PROCESSES [J].
OECHSNER, H .
PHYSICAL REVIEW LETTERS, 1970, 24 (11) :583-&