VERY SMALL (GREATER-THAN 20 NM) LITHOGRAPHIC WIRES, DOTS, RINGS, AND TUNNEL-JUNCTIONS

被引:79
作者
DOLAN, GJ [1 ]
DUNSMUIR, JH [1 ]
机构
[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974
来源
PHYSICA B | 1988年 / 152卷 / 1-2期
关键词
D O I
10.1016/0921-4526(88)90060-9
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
19
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