SOME IMPROVEMENTS OF PERFORMANCE OF TURBO-MOLECULAR PUMPS

被引：5
作者：
HENNING, J
机构：
来源：
VACUUM | 1971年 / 21卷 / 11期
关键词：
D O I：
10.1016/0042-207X(71)91565-X
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：523 / &
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共 3 条
[1]  
BECKER W, 1966, VAKUUMTECHNIK, V15, P254
[2]  
BECKER W, 1966, VAKUUM TECHNIK, V15, P211
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FLECHER P, 1969, VAKUUM-TECH, V18, P59
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