EXPERIMENTAL SIMULATION ON BEAM HEATING EFFECTS IN ION-IMPLANTATION TECHNIQUES

被引：5
作者：
FURUKAWA, S [1 ]
INOUE, O [1 ]
ISHIWARA, H [1 ]
机构：
[1] TOKYO INST TECHNOL,FAC ENGN,DEPT PHYS ELECT,TOKYO,JAPAN
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1973年 / 12卷 / 07期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.12.1075
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1075 / 1076
页数：2
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共 2 条
  • [1] Clorfeine A. S., 1968, MICROWAVE J, V11, P93
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