KINETICS OF TUNGSTEN DEPOSITION BY REACTION OF WF6 AND HYDROGEN

被引：75

作者：

BRYANT, WA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2131711

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1534 / 1543

页数：10

共 36 条

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